一、产品综述
RUQFGT系列三轴超精密气浮运动台，是融合前沿气浮技术与精密制造工艺的结晶，专为满足对精度、稳定性和可靠性要求的应用场景而打造。该系列运动台在X、Y、Z三个轴向上均实现超精密运动控制，广泛应用于半导体制造、光学工程、精密检测、航空航天等领域，为各类精密任务提供的运动解决方案。
二、产品特点
（一）纳米级超高精度运动控制
1. 定位精度：X、Y、Z轴定位精度可达±0.05μm，重复定位精度高达±0.02μm，确保在复杂精密操作中，运动台能够精准抵达并保持在指定位置，满足制造与检测对位置精度的严苛要求。
2. 直线度与平面度：X、Y轴直线度达0.1μm/200mm，Z轴垂直度在0.1μm/100mm以内，台面平面度为0.1μm/200mm×200mm，有效减少运动过程中的偏差与形变，保证运动轨迹的高度线性与平面的平整度。
（二）气浮技术性能
1. 无摩擦运行：采用的气体静承技术，使运动部件悬浮于气体薄膜之上，消除固体摩擦带来的磨损、发热及振动问题，实现超平稳、无卡顿的运动，极大提升运动精度与稳定性，延长设备使用寿命。
2.  高刚度与承载能力：气浮系统赋予运动台出色的刚度，能够在承受较大负载的同时，保持极小的变形量。X、Y轴额定负载50kg，Z轴额定负载30kg，确保在加载各类工件与设备时，仍能维持高精度运动。
（三）快速动态响应
1. 高速度与加速度：X、Y轴速度可达500mm/s，加速度为1m/s²；Z轴速度200mm/s，加速度0.5m/s²，能够快速响应控制指令，迅速完成定位与运动切换，显著提高生产与检测效率。
2. 优秀的运动稳定性：即使在高速运动状态下，凭借的气浮系统与精密的控制系统，运动台依然能够保持稳定，有效抑制振动与冲击，确保运动的平顺性与准确性。
（四）优化结构设计
1. 紧凑坚固结构：整体结构紧凑合理，在有限空间内实现性能，便于集成到各类复杂设备系统中。同时，坚固的机械结构设计增强了运动台的整体刚性，有效抵御外界振动与干扰，保证在恶劣环境下仍能稳定工作。 2. 优质材料应用：基座选用优质天然花岗岩，具备高硬度、高稳定性与低膨胀系数的特性，能有效抵抗温度变化对精度的影响。运动部件采用轻质高强度合金材料，在保证结构强度的同时，减轻运动惯性，提升动态性能。
（五）控制系统
1. 多轴联动控制：配备高性能多轴运动控制器，可实现X、Y、Z轴高精度联动控制，满足复杂轨迹运动需求，如空间曲线、螺旋线等运动路径的精确控制，为多样化的精密加工与检测任务提供有力支持。
2.  实时反馈与补偿：集成高精度位移传感器，实时监测各轴位置信息，并将反馈信号快速传输至控制系统。控制系统依据反馈数据进行实时调整与误差补偿，确保运动精度始终维持在设定范围内。
三、应用领域
1. 半导体制造：适用于光刻机、刻蚀机、电子束曝光机等设备，实现晶圆的超精密定位与对准，以及芯片制造过程中的高精度加工与检测，助力制程芯片的研发与生产。
2. 光学工程：在光学镜片研磨、抛光、镀膜设备以及光学检测仪器中，用于精确控制光学元件的位置与运动轨迹，确保光学元件的高精度制造与检测，满足光学系统对元件精度的严格要求。
精密检测：作为三坐标测量仪、电子显微镜、原子力显微镜等精密检测设备的运动平台，为样品的精确定位与扫描提供保障，提高检测数据的准确性与可靠性，广泛应用于精密机械零件、电子元器件等的质量检测。 4. 航空航天：用于航空航天零部件的超精密加工与检测，如发动机叶片、光学镜片等关键部件的制造与检测过程中，确保零部件的高精度制造，满足航空航天领域对产品质量与性能的严苛标准。